Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Fabrication and characterization of self-sensing and self-actuating piezoresistive microscale silicon cantilevers for an integrated scanning probe microscopy and scanning electron microscopy system / author: Ute Wenzel
Person(en) Wenzel, Ute (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2012
Umfang/Format VIII, 146 S. : Ill., graph. Darst. ; 30 cm
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Online-Ausgabe: Fabrication and characterization of self-sensing and self-actuating piezoresistive microscale silicon cantilevers for an integrated scanning probe microscopy and scanning electron microscopy system
Hochschulschrift Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2012 (Nicht für den Austausch)
Sprache(n) Deutsch (ger)
DDC-Notation 681.413 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung
Weiterführende Informationen Inhaltsverzeichnis

Frankfurt Signatur: 2013 B 27245
Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.]
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: 2013 B 29865
Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.]
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