Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: "Robert" and "Gerlich"
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1214243363 |
| Titel | Thermal ALD of Cu via Reduction of CuxO films for the Advanced Metallization in Spintronic and ULSI Interconnect Systems / Steve Mueller, Thomas Waechtler, Lutz Hofmann, Andre Tuchscherer, Robert Mothes, Ovidiu Gordan, Daniel Lehmann, Francisc Haidu, Marcel Ogiewa, Lukas Gerlich, Shao-Feng Ding, Stefan E. Schulz, Thomas Gessner, Heinrich Lang, Dietrich R.T. Zahn, Xin-Ping Qu |
| Person(en) |
Mueller, Steve (Verfasser) Waechtler, Thomas (Verfasser) Hofmann, Lutz (Verfasser) Tuchscherer, Andre (Verfasser) Mothes, Robert (Verfasser) Gordan, Ovidiu (Verfasser) Lehmann, Daniel (Verfasser) Haidu, Francisc (Verfasser) Ogiewa, Marcel (Verfasser) Gerlich, Lukas (Verfasser) Ding, Shao-Feng (Verfasser) Schulz, Stefan E. (Verfasser) Gessner, Thomas (Verfasser) Lang, Heinrich (Verfasser) Zahn, Dietrich R. T. (Verfasser) Qu, Xin-Ping (Verfasser) |
| Verlag | Chemnitz : Universitätsbibliothek Chemnitz - Chemnitz : Technische Universität Chemnitz |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2012 |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als: ISBN: 978-1-4577-0431-4 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa-84003 |
| URL | (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Anmerkungen | In: Semiconductor Conference Dresden (SCD), 27-28 Sept. 2011, Dresden, Germany; DOI: 10.1109/SCD.2011.6068736 |
| Schlagwörter | Atomlagenabscheidung ; Kupferoxid ; Ruthenium ; Metallisieren ; Galvanische Beschichtung ; Kupfer |
| DDC-Notation | 530.4175 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation) |
| Sachgruppe(n) | 530 Physik |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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