Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/982134924 |
Art des Inhalts | Hochschulschrift |
Titel | Strukturbildung und Prozessstabilisierung beim reaktiven Sputtern / vorgelegt von Daniel Severin |
Person(en) | Severin, Daniel (Verfasser) |
Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2006 |
Umfang/Format | Online-Ressource, ca. 7,5 MB |
Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Severin, Daniel: Strukturbildung und Prozessstabilisierung beim reaktiven Sputtern |
Hochschulschrift | Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 2006 |
Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:hbz:82-opus-16729 |
URL |
http://darwin.bth.rwth-aachen.de/opus3/volltexte/2006/1672/pdf/Severin_Daniel.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich) http://darwin.bth.rwth-aachen.de/opus3/volltexte/2006/1672/ (Verlag) |
DDC-Notation | 530.4175 [DDC22ger] |
Sachgruppe(n) | 530 Physik |
Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
