Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=530.4*
![]() |
|
Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/981098584 |
Art des Inhalts | Hochschulschrift |
Titel | Untersuchungen zum reaktiven Pulsmagnetronsputtern von ITO von metallischen Targets / von Wolf-Michael Gnehr |
Person(en) | Gnehr, Wolf-Michael (Verfasser) |
Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2006 |
Umfang/Format | Online-Ressource, ca. 4,8 MB |
Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Gnehr, Wolf-Michael: Untersuchungen zum reaktiven Pulsmagnetronsputtern von ITO von metallischen Targets |
Hochschulschrift | Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2006 |
Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:gbv:ilm1-2006000040 |
URL |
http://www.db-thueringen.de/servlets/DerivateServlet/Derivate-9089/ilm1-2006000040.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich) http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=6116 (Verlag) |
Schlagwörter | *Indiumoxide / Dünne Schicht / Zinn / Dotierung / Magnetronsputtern / Hochschulschrift |
DDC-Notation | 530.4175 [DDC22ger] |
Sachgruppe(n) | 530 Physik |
Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
