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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1304544435 |
| Titel | Dielectric properties of AlN film on Si substrate / by Z. X. Bi, Y. D. Zheng, R. Zhang, S. L. Gu, X. Q. Xiu, L. L. Zhou, B. Shen, D. J. Chen, Y. Shi |
| Person(en) |
Bi, Z. X. (Verfasser) Zheng, Y. D. (Verfasser) Zhang, R. (Verfasser) Gu, S. L. (Verfasser) Xiu, X. Q. (Verfasser) Zhou, L. L. (Verfasser) Shen, B. (Verfasser) Chen, D. J. (Verfasser) Shi, Y. (Verfasser) |
| Organisation(en) | SpringerLink (Online service) (Sonstige) |
| Umfang/Format | Online-Ressource, 1 online resource. |
| Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:101:1-2023093009145961237363 DOI: 10.1023/B:JMSE.0000024233.82681.dc |
| URL | https://doi.org/10.1023/B:JMSE.0000024233.82681.dc |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2004 |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Beziehungen | Enthalten in: Journal of materials science / Materials in electronics (Bd. 15, Nr. 5, date:5.2004: 317-320) |
| Schlagwörter | Film* (*maschinell ermittelt) |
| Sachgruppe(n) | 621.3 Elektrotechnik, Elektronik |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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