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Bücher
Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1043698590
Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Mikro-Nano-Integration für metallische Mikrosysteme mit vertikal integrierten Federelementen / von Felix Greiner. [Technische Universität Darmstadt, Institut für Elektromechanische Konstruktionen]
Person(en) Greiner, Felix (Verfasser)
Verlag Darmstadt : Inst. für Elektromechanische Konstruktionen
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2013
Umfang/Format XXVIII, 373 S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cm
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Online-Ausgabe: Greiner, Felix: Mikro-Nano-Integration für metallische Mikrosysteme mit vertikal integrierten Federelementen
Hochschulschrift Zugl.: Darmstadt, Techn. Univ., Diss., 2013
ISBN/Einband/Preis kart.
Sprache(n) Deutsch (ger)
Beziehungen Mikro- und Sensortechnik ; Bd. 30
Anmerkungen Zusätzliches Online-Angebot unter URN: urn:nbn:de:tuda-tuprints-36406
DDC-Notation 620.5 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
Weiterführende Informationen Inhaltsverzeichnis

Frankfurt Signatur: 2014 A 18031
Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.]
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: 2013 A 91435
Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.]
Bereitstellung in Leipzig




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