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Neuigkeiten Dienstag 18. November 2025: Die Lesesäle der Deutschen Nationalbibliothek in Frankfurt am Main öffnen wegen einer Personalversammlung erst ab 13 Uhr. // Tuesday 18 November 2025: The reading rooms of the German National Library in Frankfurt am Main will open at 13:00 due to a staff assembly.
 
 

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Lithography-free micro- and nanostructuring based conventional plasma etching / by Georgi Todorov Georgiev
Person(en) Georgiev, Georgi Todorov (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: [2005]
Umfang/Format Online-Ressource, ca. 14,9 MB
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Georgiev, Georgi Todorov: Lithography-free micro- and nanostructuring based on conventional plasma etching
Hochschulschrift Kassel, Univ., Diss., 2004
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:hebis:34-1873
URL http://opus.uni-kassel.de/opus/htdocs/volltexte/2005/187/pdf/dis2790_18.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
http://opus.uni-kassel.de/opus/htdocs/volltexte/2005/187/index.html (Verlag)
Sprache(n) Englisch (eng)
Schlagwörter Mikrosystemtechnik ; Plasmaätzen
DDC-Notation 530.44 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 530 Physik

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