Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1034527770 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Fabrication and characterization of self-sensing and self-actuating piezoresistive microscale silicon cantilevers for an integrated scanning probe microscopy and scanning electron microscopy system / Ute Wenzel. Gutachter: D. Frank Ogletree ; Teodor P. Gotszalk. Betreuer: Ivo W. Rangelow |
| Person(en) |
Wenzel, Ute (Verfasser) Rangelow, Ivo W. (Akademischer Betreuer) Ogletree, D. Frank (Akademischer Betreuer) Gotszalk, Teodor P. (Akademischer Betreuer) |
| Verlag | Ilmenau : Universitätsbibliothek Ilmenau |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2013 |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Fabrication and characterization of self-sensing and self-actuating piezoresistive microscale silicon cantilevers for an integrated scanning probe microscopy and scanning electron microscopy system |
| Hochschulschrift | Ilmenau, Technische Universität Ilmenau, Diss., 2012 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:gbv:ilm1-2012000108 |
| URL | http://www.db-thueringen.de/servlets/DocumentServlet?id=21719 (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| DDC-Notation | 681.413 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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