Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

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Neuigkeiten Dienstag 18. November 2025: Die Lesesäle der Deutschen Nationalbibliothek in Frankfurt am Main öffnen wegen einer Personalversammlung erst ab 13 Uhr. // Tuesday 18 November 2025: The reading rooms of the German National Library in Frankfurt am Main will open at 13:00 due to a staff assembly.
 
Neuigkeiten Mittwoch, 19. November 2025: Die Deutsche Nationalbibliothek in Leipzig ist geschlossen.
 
 

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Bücher
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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Mehrkomponenten-Targets zum Sputtern von AlCr (W, Ta, Si) N-Systemen / Alexander Fehr
Person(en) Fehr, Alexander (Verfasser)
Tillmann, Wolfgang (Herausgeber)
Organisation(en) Vulkan-Verlag GmbH (Verlag)
Verlag Essen : Vulkan Verlag
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: [2023]
Umfang/Format VIII, 264 Seiten : Illustrationen ; 21 cm
Hochschulschrift Dissertation, Technische Universität Dortmund, 2023
ISBN/Einband/Preis 978-3-8027-8832-1 Broschur : EUR 31.50 (DE), EUR 32.40 (AT)
3-8027-8832-X
EAN 9783802788321
Sprache(n) Deutsch (ger)
Beziehungen Werkstofftechnologische Schriftenreihe ; Band 25
Schlagwörter Sputtern ; PVD-Verfahren ; Target ; Mehrstoffsystem ; Aluminiumnitrid ; Chromnitrid
DDC-Notation 671.735 [DDC23ger]
Sachgruppe(n) 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung ; 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
Weiterführende Informationen Inhaltsverzeichnis

Frankfurt Signatur: 2023 AA 52991
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: 2024 AA 10867
Bereitstellung in Leipzig




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