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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1156532647
Titel The conductivity behavior of zinc oxide deposited by atomic layer deposition
Person(en) Beh, Holger (Verfasser)
Zacharias, Margit (Akademischer Betreuer)
Organisation(en) Albert-Ludwigs-Universität Freiburg. Fakultät für Angewandte Wissenschaften (Mitwirkender)
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg. Institut für Mikrosystemtechnik (Mitwirkender)
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg. Fakultät für Angewandte Wissenschaften (Grad-verleihende Institution)
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg (Verlag)
Verlag Freiburg : Universität
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2018
Umfang/Format Online-Ressource (pdf)
Hochschulschrift Dissertation, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, 2018
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:bsz:25-freidok-152457
DOI: 10.6094/UNIFR/15245
URL https://freidok.uni-freiburg.de/data/15245 (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Englisch (eng)
Schlagwörter Zinkoxid ; Elektrische Leitfähigkeit ; Atomlagenabscheidung ; Transparent-leitendes Oxid ; Stabilität ; Langzeitverhalten ; Temperaturabhängigkeit ; Wasserstoff ; Diethylzink ; Dimethylzink ; Spezifischer Widerstand
Sachgruppe(n) 530 Physik

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