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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1225186986
Titel Use of Ion Scattering Spectroscopy to Monitor the Nb target Nitridation during Reactive Sputtering / by D. J. Lichtenwalner, A. C. Anderson, D. A. Rudman
Person(en) Lichtenwalner, D. J. (Verfasser)
Anderson, A. C. (Verfasser)
Rudman, D. A. (Verfasser)
Organisation(en) SpringerLink (Online service) (Sonstige)
Umfang/Format Online-Ressource : online resource.
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2021011606265302363619
DOI: 10.1557/PROC-201-613
URL https://doi.org/10.1557/PROC-201-613
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 1991
DDC-Notation 530.416 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Enthalten in: Materials Research Society: MRS online proceedings library (Bd. 201, 1.8.1990, Nr. 1, date:12.1990: 613-618)
Sachgruppe(n) 530 Physik

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