Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/964446936 |
Art des Inhalts | Hochschulschrift |
Titel | Plasmaunterstützte Niedertemperaturprozesse für die Siliziumtechnologie : Prozessentwicklung und Defekt-Engineering / Reinhart Job |
Person(en) | Job, Reinhart (Verfasser) |
Verlag | Bochum : Bochumer Univ.-Verl. |
Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2002 |
Umfang/Format | XIV, 250 S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cm |
Hochschulschrift | Zugl.: Hagen, Fernuniv., Habil.-Schr., 2002 |
ISBN/Einband/Preis |
978-3-934453-87-6 kart. : EUR 39.00 3-934453-87-2 kart. : EUR 39.00 3-934453-87-6 (falsch) kart. : EUR 39.00 |
Beziehungen | Halbleiter-Materialforschung ; 1 |
Schlagwörter | Silicium ; Dotierung ; Thermischer Donator |
Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
Frankfurt |
Signatur: 2005 A 39342
Bereitstellung in Frankfurt |
Leipzig |
Signatur: 2005 A 53567
Bereitstellung in Leipzig |
