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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Simulation und vergleichende elektrische Bewertung von planaren und 3D-MOS-Strukturen mit HighκB-Gate-Dielektrika [High-kappa-Gate-Dielektrika] / von Florian Zaunert
Person(en) Zaunert, Florian (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2009
Umfang/Format Online-Ressource, ca. 5,8 MB
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Zaunert, Florian: Simulation und vergleichende elektrische Bewertung von planaren und 3D-MOS-Strukturen mit High-κB-gate-Dielektrika [High-kappa-gate-Dielektrika]
Hochschulschrift Darmstadt, Tech. Univ., Diss., 2009
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:tuda-tuprints-19784
URL http://tuprints.ulb.tu-darmstadt.de/1978/1/dissertation.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
http://tuprints.ulb.tu-darmstadt.de/1978/ (Verlag)
Sprache(n) Deutsch (ger)
DDC-Notation 621.38152 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

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