Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: "Celle"
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1297308093 |
| Titel | Ellipsometric characterization of photo‐resist gratings using artificial neural network |
| Person(en) |
Gereige, I. (Verfasser) Robert, S. (Verfasser) Stchakovsky, M. (Verfasser) Jamon, D. (Verfasser) Celle, F. (Verfasser) Reynaud, S. (Verfasser) Pommier, J. C. (Verfasser) Jourlin, Y. (Verfasser) |
| Umfang/Format | Online-Ressource (pdf) |
| Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:101:1-2023072605561280120172 DOI: 10.1002/pssc.200777763 |
| URL | https://doi.org/10.1002/pssc.200777763 |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 19.03.2008 |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Beziehungen | Enthalten in: Physica status solidi / C / Current topics in solid state physics (Bd. 5, 2008, Nr. 5: 1133-1136. 4 S.) |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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