Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/979153719 |
Art des Inhalts | Hochschulschrift |
Titel | Hochauflösende Röntgenlithografie zur Herstellung polymerer Submikrometerstrukturen mit großem Aspektverhältnis / Timo Mappes ; Sven Achenbach ; Jürgen Mohr. Forschungszentrum Karlsruhe GmbH, Karlsruhe |
Person(en) |
Mappes, Timo (Verfasser) Achenbach, Sven (Verfasser) Mohr, Jürgen (Verfasser) |
Verlag | Karlsruhe : FZKA |
Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2006 |
Umfang/Format | IV, 72 S. : Ill., graph. Darst. ; 30 cm |
Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Online-Ausgabe: Mappes, Timo: Hochauflösende Röntgenlithografie zur Herstellung polymerer Submikrometerstrukturen mit großem Aspektverhältnis |
Hochschulschrift | Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss. T. Mappes, 2006 |
ISBN/Einband/Preis | kart. |
Identifikationsnummern | Reportnummer: FZKA 7215 |
DDC-Notation | 621 [DDC22ger] |
Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
Frankfurt |
Signatur: 2006 B 15902 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Frankfurt |
Leipzig |
Signatur: 2006 B 15353 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Leipzig |
