Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/100347120X |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Verspannungsgetriebene Architekturen auf der Basis von Si-Nanomembranen / Francesca Cavallo |
| Person(en) | Cavallo, Francesca (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2009 |
| Umfang/Format | Online-Ressource (PDF) |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Cavallo, Francesca: Verspannungsgetriebene Architekturen auf der Basis von Si-Nanomembranen |
| Hochschulschrift | Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2009 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:bsz:ch1-201000235 |
| URL | http://archiv.tu-chemnitz.de/pub/2010/0023 (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Schlagwörter | Molekularstrahlepitaxie ; Oxidation ; Ätzen ; Halbleiter ; Halbleiterbauelement ; Halbleiterelektronik |
| DDC-Notation | 621.38152 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau ; 530 Physik |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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