Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1071528319 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Modulares Steuerungskonzept für integrierte Messtechnik in der Halbleiterfertigung am Beispiel einer Mehrkammerprozessanlage / Martin Schellenberger |
| Person(en) | Schellenberger, Martin (Verfasser) |
| Ausgabe | 1. Aufl. |
| Verlag | Aachen : Shaker |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2011 |
| Umfang/Format | Online-Ressource : 66 Ill. (pdf) |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Schellenberger, Martin: Modulares Steuerungskonzept für integrierte Messtechnik in der Halbleiterfertigung am Beispiel einer Mehrkammerprozessanlage |
| Hochschulschrift | Zugl.: Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg, Diss., 2011 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:101:1-201505241105 |
| ISBN/Einband/Preis | 978-3-8440-0264-5 |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Beziehungen | Erlanger Berichte Mikroelektronik ; 2011,3 |
| Anmerkungen | Lizenzpflichtig |
| Schlagwörter | Halbleitertechnologie ; Prozessautomation ; Prozessüberwachung ; Messtechnik ; Integrierter Sensor ; Programmierbare Steuerung ; Modulares Softwaresystem ; Softwarearchitektur ; Systemplattform ; Mehrstufenprozess |
| DDC-Notation | 629.895 [DDC22ger]; 670.4275 [DDC22ger]; 621.38152 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 621.3 Elektrotechnik, Elektronik ; 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung ; 650 Management |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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