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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Glimmplasmaunterstützte Schichtabscheidung von Hartstoffen aus silicium- und bororganischen Verbindungen / vorgelegt von Percy Heger
Person(en) Heger, Percy (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2003
Umfang/Format Online-Ressource, ca. 1,4 MB
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Heger, Percy: Glimmplasmaunterstützte Schichtabscheidung von Hartstoffen aus silicium- und bororganischen Verbindungen
Hochschulschrift Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2003
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:swb:ch1-200300581
URL http://archiv.tu-chemnitz.de/pub/2003/0058/data/diss.pdf (kostenfrei zugänglich)
http://archiv.tu-chemnitz.de/production-stable/pub/2003/0058/index.html (Verlag)
Schlagwörter Hartstoff ; PECVD-Verfahren ; Siliciumorganische Verbindungen ; Bororganische Verbindungen ; Glimmentladung ; Online-Publikation
Vakuumbeschichten ; Plasmadiagnostik ; Infrarot-Reflexionsspektroskopie ; Massenspektrometrie ; Online-Publikation
Sachgruppe(n) 530 Physik

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