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Bücher
Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/951368052
Titel Resist development simulation treated as a boundary value problem / K. Bergner. Friedrich-Schiller-Universität Jena
Person(en) Bergner, K. (Verfasser)
Ausgabe Als Ms. gedr.
Verlag Jena : Friedrich-Schiller-Univ.
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: [1990]
Umfang/Format 12 S. : graph. Darst. ; 21 cm
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Friedrich-Schiller-Universität Jena: Forschungsergebnisse / N ; Nr. 90,20
Anmerkungen Status nach VGG: vergriffen
Sachgruppe(n) 29 Physik, Astronomie

Leipzig Signatur: SA 31411-N,90,20
Bereitstellung in Leipzig




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