Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=621.3*
Treffer 1867 von 2556
|
|
| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/988688654 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Mesoscopic simulation of photoresist processing in optical lithography = Mesoskopische Simulation der Photolackbearbeitung in der optischen Lithographie / vorgelegt von Thomas Schnattinger |
| Person(en) | Schnattinger, Thomas (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: [2008] |
| Umfang/Format | Online-Ressource, ca. 5,6 MB |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Schnattinger, Thomas: Mesoscopic simulation of photoresist processing in optical lithography |
| Hochschulschrift | Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 2007 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:bvb:29-opus-7432 |
| URL |
http://www.opus.ub.uni-erlangen.de/opus/volltexte/2008/743/pdf/ThomasSchnattingerDissertation.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich) http://www.opus.ub.uni-erlangen.de/opus/volltexte/2008/743/ (Verlag) |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Schlagwörter | Computersimulation ; Direkte numerische Simulation ; Diskrete Simulation ; Monte-Carlo-Simulation ; Simulation ; Photoresist ; Lithographie <Halbleite |
| DDC-Notation | 621.38152 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
Treffer 1867 von 2556
Administration
