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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Schädigungsfreie Ablation dielektrischer Schichten auf Silizium mittels ultrakurzer Laserimpulse / Tino Rublack. Betreuer: Gerhard Seifert ; Ralf B. Wehrspohn ; Gerhard Gobsch
Person(en) Rublack, Tino (Verfasser)
Seifert, Gerhard (Akademischer Betreuer)
Wehrspohn, Ralf B. (Akademischer Betreuer)
Gobsch, Gerhard (Akademischer Betreuer)
Verlag Halle, Saale : Universitäts- und Landesbibliothek Sachsen-Anhalt
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2012
Umfang/Format Online-Ressource
Hochschulschrift Halle (Saale), Martin-Luther-Universität Halle-Wittenberg, Diss., 2012
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:gbv:3:4-8893
URL http://digital.bibliothek.uni-halle.de/urn/urn:nbn:de:gbv:3:4-8893 (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Sachgruppe(n) 530 Physik

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