Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Bestimmung von Redepositions-Charakteristiken von Gold für die Profilsimulation der Reparatur von Röntgenmasken mit fokussierten Ionenstrahlen / Karl Paul Müller
Person(en) Müller, Karl Paul (Verfasser)
Verlag Düsseldorf : VDI-Verl.
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 1990
Umfang/Format IX, 120 S. : 49 Ill. u. graph. Darst. ; 21 cm
Hochschulschrift Zugl.: Berlin, Techn. Univ., Diss.
ISBN/Einband/Preis 978-3-18-140009-8 kart. : DM 81.00 (nicht im Sortimentsbuchh.)
3-18-140009-2 kart. : DM 81.00 (nicht im Sortimentsbuchh.)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Beziehungen Verein Deutscher Ingenieure: Fortschrittberichte VDI / Reihe 9 / Elektronik, Mikro- und Nanotechnik ; Nr. 100
Anmerkungen Status nach VGG: vergriffen
Schlagwörter Gold ; Dünne Schicht ; Sputtern ; Ionenstrahl ; Einfallwinkel
Sachgruppe(n) 37 Elektrotechnik
Weiterführende Informationen Inhaltsverzeichnis

Frankfurt Signatur: D 90/3572
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: ZB 62631
Bereitstellung in Leipzig




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