Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Musikarchiv

Buchmuseum

Expertensuche ?

2. bis 5. Oktober 2025: Der Kartenlesesaal in Leipzig ist geschlossen. // 2 to 5 October 2025: The map reading room in Leipzig is closed.

Aufgrund einer Wartung steht das Webformular von 07:30-08:30 nicht zur Verfügung

Ergebnis der Suche nach: "10460588X"

Treffer 2 von 17


Link zu diesem Datensatz	https://d-nb.info/870118978
Titel	Mehrlagen-Resistsysteme für optische- und Elektronenstrahl-Lithographie / Bundesministerium für Forschung u. Technologie. [Durchführende Inst. Inst. für Halbleitertechnik d. Rheinisch-Westfäl. Techn. Hochsch. Aachen]. Von Heinz Beneking ...
Person(en)	Beneking, Heinz (Verfasser)
Organisation(en)	RWTH Aachen. Lehrstuhl und Institut für Halbleitertechnik (Herausgebendes Organ)
Verlag	Eggenstein-Leopoldshafen : Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik Karlsruhe
Zeitliche Einordnung	Erscheinungsdatum: 1986
Umfang/Format	82 S. : Ill., graph. Darst. ; 30 cm
ISBN/Einband/Preis	kart. (Pr. nicht mitget.)
Identifikationsnummern	Reportnummer: BMFT-FB-T 86-045
Beziehungen	Technologische Forschung und Entwicklung, Elektronik
Anmerkungen	Literaturverz. S. 77 - 82. - Als Ms. gedr. Status nach VGG: vergriffen
Sachgruppe(n)	37 Elektrotechnik
Weiterführende Informationen	Inhaltsverzeichnis

Frankfurt	Signatur: D 86b/11835 Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig	Signatur: SB 7078 - T,86,45 Bereitstellung in Leipzig

Treffer 2 von 17