Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/840720068 |
| Titel | Elektronenoptischer Maskierungsprojektor mit Photokathode für Verkleinerung / Bundesministerium für Forschung u. Technologie. [Durchführende Inst.: Univ. Tübingen, Inst. für Angewandte Physik]. Von Gottfried Möllenstedt ... |
| Person(en) | Möllenstedt, Gottfried (Verfasser) |
| Organisation(en) | Eberhard Karls Universität Tübingen. Institut für Angewandte Physik (Herausgebendes Organ) |
| Verlag | Eggenstein-Leopoldshafen : Fachinformationszentrum Energie, Physik, Mathematik Karlsruhe |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 1981 |
| Umfang/Format | 107 S. : Ill., graph. Darst. ; 30 cm |
| ISBN/Einband/Preis | kart. : DM 22.50 (zuzügl. Mehrwertsteuer) |
| Identifikationsnummern | Reportnummer: BMFT-FB-T 81-089 |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Beziehungen | Technologische Forschung und Entwicklung, Elektronik |
| Anmerkungen |
Als Ms. gedr. Status nach VGG: vergriffen |
| Schlagwörter | Elektronenstrahllithographie |
| Sachgruppe(n) | 37 Elektrotechnik |
| Weiterführende Informationen | Inhaltsverzeichnis |
| Frankfurt |
Signatur: D 81b/6996
Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: SB 7078 - T,81,89
Bereitstellung in Leipzig |
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