Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/994526423 |
Art des Inhalts | Hochschulschrift |
Titel | Ionenstrahlsynthese und Charakterisierung großflächiger 3C-SiC-Pseudosubstrate für die Homo- und Heteroepitaxie / vorgelegt von Maik Häberlen |
Person(en) | Häberlen, Maik (Verfasser) |
Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2006 |
Umfang/Format | IV, 210 S. : Ill., graph. Darst. ; 30 cm |
Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Online-Ausgabe: Häberlen, Maik: Ionenstrahlsynthese und Charakterisierung großflächiger 3C-SiC-Pseudosubstrate für die Homo- und Heteroepitaxie |
Hochschulschrift | Augsburg, Univ., Diss., 2007 (Nicht für den Austausch) |
Sprache(n) | Deutsch (ger) |
Schlagwörter | Ionenimplantation ; Siliciumcarbid ; Galliumnitrid ; Zinkoxid ; Substrat <Mikroelektronik> ; Silicium ; Epitaxie ; Molekularstrahlepitaxie |
DDC-Notation | 530.4175 [DDC22ger] |
Sachgruppe(n) | 530 Physik |
Frankfurt |
Signatur: 2009 B 7446 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Frankfurt |
Leipzig |
Signatur: 2009 B 18533 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Leipzig |
