Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1049700392 |
| Titel | Morphology and crystallography of electromigration induced transgranular slit failures in aluminum alloy interconnects / J. E. Sanchez ; V. Randle ; Oliver Kraft ; Eduard Arzt |
| Person(en) |
Sanchez, J. E. (Mitwirkender) Randle, Valerie (Mitwirkender) Kraft, Oliver (Mitwirkender) Arzt, Eduard (Mitwirkender) |
| Verlag | Saarbrücken : Saarländische Universitäts- und Landesbibliothek |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2008 |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als: ISBN: 0-8194-1003-9 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:bsz:291-scidok-17896 |
| URL | http://scidok.sulb.uni-saarland.de/volltexte/2008/1789/ (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Anmerkungen | In: Submicrometer metallization: the challenges, opportunities, and limitations. - Bellingham, Wash. : SPIE, 1993. - (SPIE proceedings series ; 1805), S. 222-231 |
| Schlagwörter | Morphologie ; Kristallographie ; Elektromigration |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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