Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

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Neuigkeiten Dienstag 18. November 2025: Die Lesesäle der Deutschen Nationalbibliothek in Frankfurt am Main öffnen wegen einer Personalversammlung erst ab 13 Uhr. // Tuesday 18 November 2025: The reading rooms of the German National Library in Frankfurt am Main will open at 13:00 due to a staff assembly.
 
 

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Next-generation nanoimprint lithography : innovative approaches towards improving flexibility and resolution of nanofabrication in the sub-15-nm region / by Stefan Harrer
Person(en) Harrer, Stefan (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2008
Umfang/Format Online-Ressource, ca. 168,6 MB
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Harrer, Stefan: Next-generation nanoimprint lithography
Hochschulschrift München, Techn. Univ., Diss., 2008
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:bvb:91-diss-20080226-646522-1-5
URL http://mediatum2.ub.tum.de/doc/646522/document.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Englisch (eng)
DDC-Notation 620.5 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

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