Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1166509370 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Entwicklung und Charakterisierung eines CMOS-Prozesses mit minimierter Anzahl an Lithographieebenen / Michael Jank |
| Person(en) | Jank, Michael (Verfasser) |
| Ausgabe | 1. Auflage |
| Verlag | Aachen : Shaker |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2007 |
| Umfang/Format | Online-Ressource, 172 Seiten : 87 Illustrationen (pdf) |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Jank, Michael: Entwicklung und Charakterisierung eines CMOS-Prozesses mit minimierter Anzahl an Lithographieebenen |
| Hochschulschrift | Dissertation, Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg, 2006 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:101:1-2018090906000231677666 |
| ISBN/Einband/Preis | 978-3-8322-6159-7 |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Beziehungen | Erlanger Berichte Mikroelektronik ; 2007/1 |
| Anmerkungen | Lizenzpflichtig |
| Schlagwörter | MOS-FET ; CMOS ; Maskentechnik ; Halbleitersubstrat ; Ionenimplantation ; Prozessoptimierung |
| DDC-Notation | 621.3815284 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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