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Neuigkeiten Dienstag 18. November 2025: Die Lesesäle der Deutschen Nationalbibliothek in Frankfurt am Main öffnen wegen einer Personalversammlung erst ab 13 Uhr. // Tuesday 18 November 2025: The reading rooms of the German National Library in Frankfurt am Main will open at 13:00 due to a staff assembly.
 
 

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Untersuchungen zur Plasma-Oberflächen-Wechselwirkung beim Ätzen von Silizium mit einem Ar-SF6-O2-Plasmajet / vorgelegt von Thomas Arnold
Person(en) Arnold, Thomas (Verfasser)
Verlag Berlin : Mensch-und-Buch-Verl.
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2005
Umfang/Format 167, VI S. : graph. Darst. ; 21 cm
Hochschulschrift Zugl.: Leipzig, Univ., Diss., 2005
ISBN/Einband/Preis 978-3-89820-463-7 kart : EUR 28.00
3-89820-463-4 kart : EUR 28.00
EAN 9783898204637
Beziehungen Physics
Schlagwörter Silicium ; Plasmaätzen ; Plasmadiagnostik ; Halbleiteroberfläche ; Plasmastrahl ; Wechselwirkung
Sachgruppe(n) 530 Physik

Frankfurt Signatur: 2006 A 1312
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: 2006 A 26756
Bereitstellung in Leipzig




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