Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/960483586 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Ionen-Projektions-Lithographie für die industrielle Herstellung von integrierten Schaltungen mit Strukturgrössen kleiner 100nm / von Rainer Käsmaier |
| Person(en) | Käsmaier, Rainer (Verfasser) |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2000 |
| Umfang/Format | 1 CD-R ; 12 cm + Beil. ([1] Bl.) |
| Hochschulschrift | Kassel, Univ., Diss., 2000 |
| Anmerkungen | Titel auf der Beil. - Dateiformate: PDF, Word 8.0 |
| Schlagwörter | Ionenstrahllithografie ; Belichtung ; Projektion <Optik> ; Nanometerbereich ; Diskette |
| Sachgruppe(n) | 37 Elektrotechnik |
| Frankfurt |
Signatur: H 2000 CR 222
Bereitstellung in Frankfurt |
| Leipzig |
Signatur: H 2000 CR 222
Bereitstellung in Leipzig |
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