Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/979222788 |
Art des Inhalts | Hochschulschrift |
Titel | Defekte in epitaktisch gewachsenen Silizium-Schichten (Niedertemperaturepitaxie) / vorgelegt von Kai Petter |
Person(en) | Petter, Kai (Verfasser) |
Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2005 |
Umfang/Format | II, 110 S. : Ill., graph. Darst. ; 30 cm |
Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Online-Ausgabe: Defekte in epitaktisch gewachsenen Silizium-Schichten (Niedertemperaturepitaxie) |
Hochschulschrift | Marburg, Univ., Diss., 2006 |
Schlagwörter | Silicium ; Epitaxieschicht ; Halbleiter / Gitterbaufehler |
DDC-Notation | 530.4175 [DDC22ger]; 621.31244 [DDC22ger] |
Sachgruppe(n) | 530 Physik |
Frankfurt |
Signatur: 2006 B 14039 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Frankfurt |
Leipzig |
Signatur: 2006 B 12186 Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.] Bereitstellung in Leipzig |
