Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

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Neuigkeiten Dienstag 18. November 2025: Die Lesesäle der Deutschen Nationalbibliothek in Frankfurt am Main öffnen wegen einer Personalversammlung erst ab 13 Uhr. // Tuesday 18 November 2025: The reading rooms of the German National Library in Frankfurt am Main will open at 13:00 due to a staff assembly.
 
 

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Titel Anwendung und Weiterentwicklung der Ionenstrahlsputterdeposition : Entkopplungsansätze für eine nachhaltige Dünnschichtabscheidung / Sebastian Leonard Benz ; Betreuer: Sangam Chatterjee
Person(en) Benz, Sebastian (Verfasser)
Chatterjee, Sangam (Akademischer Betreuer)
Verlag Gießen : Universitätsbibliothek Gießen
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2025
Umfang/Format Online-Ressource (pdf)
Hochschulschrift Dissertation, Gießen, Justus-Liebig-Universität Gießen, 2025
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2510230658404.326325491957
DOI: 10.22029/jlupub-20151
URL https://jlupub.ub.uni-giessen.de/handle/jlupub/20800 (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter Nachhaltigkeit* ; Dünne Schicht* ; Heterostruktur* (*maschinell ermittelt)
DDC-Notation 621.38152 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sachgruppe(n) 621.3 Elektrotechnik, Elektronik

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