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Titel Entstehungsursachen und Möglichkeiten zur Unterdrückung prozeßinduzierter Strukturdefekte in versetzungsfreiem Silizium im Rahmen des Zyklus I der Halbleiterbauelementetechnologie / von Wolfgang Fischer
Person(en) Fischer, Wolfgang (Verfasser)
Umfang/Format 30 cm
Hochschulschrift Berlin, Humboldt-Univ., Math.-naturwiss. Fak., Diss. A, 1979. - (Nicht für den Austausch)
Schlagwörter Elektronische Bauelemente / Strukturdefekte in Si ; Silizium / Strukturdefekte während d. ̃-Planartechnologie ; Gitterfehler / Strukturdefekte während d. Si-Planartechnologie
Sachgruppe(n) 0800 Energiewirtschaft, Elektrotechnik, Elektronik
Zugehörige Bände 2 Publikationen
  1. Entstehungsursachen und Möglichkeiten zur Unterdrückung prozeßinduzierter Strukturdefekte in versetzungsfreiem Silizium im Rahmen des Zyklus I der Halbleiterbauelementetechnologie / Bd. 1.
    1979
  2. Entstehungsursachen und Möglichkeiten zur Unterdrückung prozeßinduzierter Strukturdefekte in versetzungsfreiem Silizium im Rahmen des Zyklus I der Halbleiterbauelementetechnologie / Bd. 2.
    1979





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