Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1231992654 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Technologie zur Herstellung dreidimensionaler Siliziumstrukturen / Jens Hoche ; Betreuer: Stephanus Büttgenbach |
| Person(en) |
Hoche, Jens (Verfasser) Büttgenbach, Stephanus (Akademischer Betreuer) |
| Verlag | Braunschweig : Technische Universität Braunschweig |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2019 |
| Umfang/Format | Online-Ressource (pdf) |
| Hochschulschrift | Dissertation, Braunschweig, Technische Universität Braunschweig, 1999 |
| Persistent Identifier |
URN: urn:nbn:de:gbv:084-2019012208415 DOI: 10.24355/dbbs.084-201901220838-0 |
| URL | https://publikationsserver.tu-braunschweig.de/receive/dbbs_mods_00066205 (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Beziehungen | Publications Institute of Microtechnology IMT ; 5 |
| Anmerkungen | In: Aachen : Shaker |
| Schlagwörter |
Mikromechanik ; Siliciumbauelement ; Trockenätzen ; Fotolithografie <Halbleitertechnologie> ; Prozessoptimierung Mikromechanik ; Siliciumbauelement ; Plasmaätzen ; Fotolithografie <Halbleitertechnologie> ; Prozessoptimierung |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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