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Neuigkeiten Dienstag 18. November 2025: Die Lesesäle der Deutschen Nationalbibliothek in Frankfurt am Main öffnen wegen einer Personalversammlung erst ab 13 Uhr. // Tuesday 18 November 2025: The reading rooms of the German National Library in Frankfurt am Main will open at 13:00 due to a staff assembly.
 
 

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel ECR-Plasmadiagnostik im System Ar-H2-N2-TMS und Charakterisierung der entstehenden SiCxNy: H-Schichten / vorgelegt von Ines Dani
Person(en) Dani, Ines (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2002
Umfang/Format Online-Ressource, ca. 0,7 MB
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Dani, Ines: ECR-Plasmadiagnostik im System Ar-H2-N2-TMS und Charakterisierung der entstehenden SiCxNy:H-Schichten
Hochschulschrift Chemnitz, Techn. Univ., Diss., 2002
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:bsz:ch1-200201291
URL http://archiv.tu-chemnitz.de/pub/2002/0129/index.html (kostenfrei zugänglich)
Anmerkungen Dateiformat: PDF
Schlagwörter ECR-Beschichten ; Plasmadiagnostik ; Siliciumcarbid ; Siliciumnitrid ; Dünne Schicht ; Online-Publikation
Sachgruppe(n) 29 Physik, Astronomie

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