Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Servicezeiten in Frankfurt am Main ab 1. Dezember 2025: Montag bis Freitag 9–18 Uhr und Samstag 10–16 Uhr
Service hours in Frankfurt am Main from 1 December 2025: Monday to Friday 9:00-18:00 and Saturday 10:00-16:00
 
Neuigkeiten Dienstag 9. Dezember 2025: Die Lesesäle der Deutschen Nationalbibliothek in Leipzig öffnen wegen einer Personalversammlung erst ab 13 Uhr. // Tuesday 9 December 2025: The reading rooms of the German National Library in Leipzig will open at 13:00 due to a staff assembly.
 
 

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Modeling and optimization of cluster tools in semiconductor manufacturing / vorgelegt von Mathias Dümmler. [Bayerische Justus-Maximilian-Universität, Institut für Informatik, Lehrstuhl für Verteilte Systeme]
Person(en) Dümmler, Mathias (Verfasser)
Verlag Würzburg : Inst. für Informatik, Lehrstuhl für Verteilte Systeme
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2004
Umfang/Format IV, 149 S. : graph. Darst. ; 21 cm
Hochschulschrift Zugl.: Würzburg, Univ., Diss., 2004
ISBN/Einband/Preis kart.
Sprache(n) Englisch (eng)
Beziehungen Würzburger Beiträge zur Leistungsbewertung verteilter Systeme ; Bericht [20]04,01
DDC-Notation 621.38152028 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

Frankfurt Signatur: 2006 A 19170
Bereitstellung in Frankfurt
Leipzig Signatur: 2006 A 37635
Bereitstellung in Leipzig




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