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Neuigkeiten Dienstag 18. November 2025: Die Lesesäle der Deutschen Nationalbibliothek in Frankfurt am Main öffnen wegen einer Personalversammlung erst ab 13 Uhr. // Tuesday 18 November 2025: The reading rooms of the German National Library in Frankfurt am Main will open at 13:00 due to a staff assembly.
 
 

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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Entwicklung, Herstellung und Charakterisierung eines bistabilen mikromechanischen Schaltaktors in Siliziumtechnik / Christian Kirsch. Betreuer: Helmut Seidel
Person(en) Kirsch, Christian (Verfasser)
Seidel, Helmut (Akademischer Betreuer)
Verlag Saarbrücken : Saarländische Universitäts- und Landesbibliothek
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2014
Umfang/Format Online-Ressource
Hochschulschrift Saarbrücken, Universität des Saarlandes, Diss., 2014
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:bsz:291-scidok-59070
URL http://scidok.sulb.uni-saarland.de/volltexte/2014/5907/ (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter Mikrosystemtechnik ; Mikroaktor ; MEMS ; Mikrofertigung ; Mikrofluidik ; Mikromechanik ; Schalter ; Buckling
Beulung* ; Herstellung* (*maschinell ermittelt)
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

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