Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1058857495 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Entwicklung, Herstellung und Charakterisierung eines bistabilen mikromechanischen Schaltaktors in Siliziumtechnik / Christian Kirsch. Betreuer: Helmut Seidel |
| Person(en) |
Kirsch, Christian (Verfasser) Seidel, Helmut (Akademischer Betreuer) |
| Verlag | Saarbrücken : Saarländische Universitäts- und Landesbibliothek |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2014 |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Hochschulschrift | Saarbrücken, Universität des Saarlandes, Diss., 2014 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:bsz:291-scidok-59070 |
| URL | http://scidok.sulb.uni-saarland.de/volltexte/2014/5907/ (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Schlagwörter |
Mikrosystemtechnik ; Mikroaktor ; MEMS ; Mikrofertigung ; Mikrofluidik ; Mikromechanik ; Schalter ; Buckling Beulung* ; Herstellung* (*maschinell ermittelt) |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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