Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1041972199 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Negative Ions and Operation Modes in Capacitively Coupled RF Oxygen Discharges / Christian Küllig |
| Person(en) | Küllig, Christian (Verfasser) |
| Verlag | Greifswald : Universitätsbibliothek Greifswald |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2013 |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Küllig, Christian: Negative ions and operation modes in capacitively coupled RF oxygen discharges |
| Hochschulschrift | Greifswald, Univ., Diss., 2013 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:gbv:9-001585-6 |
| URL | http://ub-ed.ub.uni-greifswald.de/opus/volltexte/2013/1585/ (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| DDC-Notation | 530.446 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 530 Physik |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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