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Bücher
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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Phase formation and size effects in nanoscale silicide layers for the sub-100 nm microprocessor technology / Jochen Rinderknecht
Person(en) Rinderknecht, Jochen (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2005
Umfang/Format 192 S. in getr. Zählung : Ill., graph. Darst. ; 30 cm
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Online-Ausgabe: Rinderknecht, Jochen: Phase formation and size effects in nanoscale silicide layers for the sub-100 nm microprocessor technology
Hochschulschrift Dresden, Techn. Univ., Diss., 2005 (Nicht für den Austausch)
Sprache(n) Englisch (eng)
Schlagwörter CMOS ; Dünne Schicht ; Mikroprozessor ; Schichtdicke ; Silicide
DDC-Notation 530.4175 [DDC22ger]; 546.6832 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 530 Physik ; 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

Frankfurt Signatur: 2005 B 36615
Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.]
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Leipzig Signatur: 2005 B 36636
Bestand: [Dieses Werk gibt es inhaltsgleich auch in digitaler Form.]
Bereitstellung in Leipzig




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