Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten

Leichte Bedienung, intuitive Suche: Die Betaversion unseres neuen Katalogs ist online! → Zur Betaversion des neuen DNB-Katalogs

 
 

Ergebnis der Suche nach: dcs=621.3*

Zurück zur Trefferliste


Treffer 266 von 2504 < < > <



Online Ressourcen
Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1156171024
Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Oberflächen-Passivierung von kristallinem Silicium durch Aluminiumoxid
Person(en) Kühnhold-Pospischil, Saskia (Verfasser)
Zacharias, Margit (Akademischer Betreuer)
Weber, Stefan (Akademischer Betreuer)
Organisation(en) Albert-Ludwigs-Universität Freiburg. Institut für Mikrosystemtechnik (Mitwirkender)
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg. Institut für Physikalische Chemie (Mitwirkender)
Freiburger Material-Forschungszentrum (Mitwirkender)
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg. Fakultät für Angewandte Wissenschaften (Grad-verleihende Institution)
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg (Verlag)
Verlag Freiburg : Universität
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2018
Umfang/Format Online-Ressource (pdf)
Hochschulschrift Dissertation, Albert-Ludwigs-Universität Freiburg, 2017
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:bsz:25-freidok-151802
DOI: 10.6094/UNIFR/15180
URL https://freidok.uni-freiburg.de/data/15180 (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter Silicium ; Kristalliner Stoff ; Passivierung ; Aluminiumoxide ; Passivschicht ; Atomlagenabscheidung ; Degradation <Technik> ; PECVD-Verfahren ; Probekörper <Werkstoffprüfung>
DDC-Notation 621.381520284 [DDC23ger]
Sachgruppe(n) 621.3 Elektrotechnik, Elektronik

Online-Zugriff Archivobjekt öffnen




Treffer 266 von 2504
< < > <




Aktionen

Aktionen


E-Mail-IconKorrekturanfrage

E-Mail-IconAdministration