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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Low temperature silicon epitaxy : defects and electronic properties / vorgelegt von Thomas A. Wagner
Person(en) Wagner, Thomas (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2003
Umfang/Format Online-Ressource, ca. 2,4 MB
Hochschulschrift Stuttgart, Univ., Diss., 2003
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:bsz:93-opus-14839
URL http://elib.uni-stuttgart.de/opus/volltexte/2003/1483/pdf/diss_final.pdf (kostenfrei zugänglich)
http://elib.uni-stuttgart.de/opus/volltexte/2003/1483/index.html (Verlag)
Sprache(n) Englisch (eng)
Schlagwörter Epitaxie ; Ionenstrahl ; Niedrigtemperatur ; Silicium ; Schichtwachstum ; Epitaxieschicht
Sachgruppe(n) 37 Elektrotechnik ; 29 Physik, Astronomie

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