Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1252108877 |
| Titel | Chemistry of Atomic Layer Deposition / Seán Thomas Barry |
| Person(en) | Barry, Seán Thomas (Verfasser) |
| Organisation(en) | Walter de Gruyter GmbH & Co. KG (Verlag) |
| Ausgabe | 1. Auflage |
| Verlag | Berlin/Boston : De Gruyter |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2021 |
| Umfang/Format | Online-Ressource, 113 Seiten : 70 Illustrationen, 5 Illustrationen (epub) |
| Andere Ausgabe(n) |
Erscheint auch als Online-Ausgabe: ISBN: 978-3-11-071253-7 Erscheint auch als Online-Ausgabe: ISBN: 978-3-11-071253-7 Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Barry, Seán Thomas: Chemistry of atomic layer deposition |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:101:1-2022021816430127865797 |
| URL | https://www.degruyter.com/isbn/9783110712599 (Verlag) |
| ISBN/Einband/Preis |
978-3-11-071259-9 3-11-071259-8 |
| EAN | 9783110712599 |
| Sprache(n) | Englisch (eng) |
| Beziehungen | De Gruyter Textbook |
| Schlagwörter | Atomlagenabscheidung |
| DDC-Notation | 671.735 [DDC23ger]; 667.9 [DDC23ger] |
| Sachgruppe(n) | 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung ; 660 Technische Chemie |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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