Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1161312730 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | CMOS-Prozessintegration von epitaktischen Selten-Erden-Oxiden als High-K-Dielektrika auf SOI-Substraten / Heinrich D Gottlob |
| Person(en) | Gottlob, Heinrich D. (Verfasser) |
| Ausgabe | 1. Auflage |
| Verlag | Aachen : Shaker |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2008 |
| Umfang/Format | Online-Ressource, 135 Seiten : 57 Illustrationen (pdf) |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Gottlob, Heinrich Dieter Bernd: CMOS-Prozessintegration von epitaktischen Selten-Erden-Oxiden als high-K-Dielektrika auf SOI-Substraten |
| Hochschulschrift | Dissertation, Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen, 2007 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:101:1-2018061708303936077647 |
| ISBN/Einband/Preis | 978-3-8322-7044-5 |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Beziehungen | Berichte aus der Halbleitertechnik |
| Anmerkungen | Lizenzpflichtig |
| Schlagwörter |
SOI-Technik ; CMOS ; High-k-Dielektrikum ; Seltenerdmetall ; Gate-Oxid ; Epitaxieschicht SOI-Technik ; MOS-FET ; High-k-Dielektrikum ; Seltenerdmetall ; Gate-Oxid ; Epitaxieschicht |
| DDC-Notation | 621.38152 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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