Katalog der Deutschen Nationalbibliothek
Ergebnis der Suche nach: dcs=671*
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| Link zu diesem Datensatz | https://d-nb.info/1068443421 |
| Art des Inhalts | Hochschulschrift |
| Titel | Entwicklung einer lichtbogengestützten PECVD-Technologie für die Synthese siliziumbasierter Schichtsysteme unter Atmosphärendruck – Untersuchung des diffusionslimitierten Wachstumsregimes / Daniela Rogler. Gutachter: Eckhard Beyer ; Andreas Neidhardt ; Stefan Kaskel. Betreuer: Eckhard Beyer |
| Person(en) |
Rogler, Daniela (Verfasser) Beyer, Eckhard (Akademischer Betreuer) Neidhardt, Andreas (Akademischer Betreuer) Kaskel, Stefan (Akademischer Betreuer) |
| Verlag | Dresden : Saechsische Landesbibliothek- Staats- und Universitaetsbibliothek Dresden - Dresden : Technische Universität Dresden |
| Zeitliche Einordnung | Erscheinungsdatum: 2012 |
| Umfang/Format | Online-Ressource |
| Andere Ausgabe(n) | Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Rogler, Daniela: Entwicklung einer lichtbogengestützten PECVD-Technologie für die Synthese siliziumbasierter Schichtsysteme unter Atmosphärendruck |
| Hochschulschrift | Dresden, Technische Universität Dresden, Diss., 2012 |
| Persistent Identifier | URN: urn:nbn:de:bsz:14-qucosa-97547 |
| URL | http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de:bsz:14-qucosa-97547 (Verlag) (kostenfrei zugänglich) |
| Sprache(n) | Deutsch (ger) |
| Schlagwörter |
Aufdampfen Beschichtung* (*maschinell ermittelt) |
| DDC-Notation | 671.735 [DDC22ger] |
| Sachgruppe(n) | 670 Industrielle und handwerkliche Fertigung |
| Online-Zugriff | Archivobjekt öffnen |
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