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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/1161308385
Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Herstellung großflächiger Nanostrukturen mittels Interferenzlithographie / Christian Moormann
Person(en) Moormann, Christian (Verfasser)
Ausgabe 1. Auflage
Verlag Aachen : Shaker
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2008
Umfang/Format Online-Ressource, 110 Seiten : 109 Illustrationen, 23 Illustrationen (pdf)
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Moormann, Christian: Herstellung großflächiger Nanostrukturen mittels Interferenzlithographie
Hochschulschrift Dissertation, Rheinisch-Westfälische Technische Hochschule Aachen, 2007
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:101:1-2018061707332827791038
ISBN/Einband/Preis 978-3-8322-7742-0
Sprache(n) Deutsch (ger)
Beziehungen Berichte aus der Elektrotechnik
Anmerkungen Lizenzpflichtig
Schlagwörter Interferenzlithografie ; Nanostruktur
DDC-Notation 621.38152 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

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