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Link zu diesem Datensatz https://d-nb.info/993304443
Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Reaktive ionengestützte Prozesse für optische Hochleistungsschichten / von Henrik Ehlers
Person(en) Ehlers, Henrik (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 2008
Umfang/Format Online-Ressource, ca. 11,9 MB
Andere Ausgabe(n) Erscheint auch als Druck-Ausgabe: Ehlers, Henrik: Reaktive ionengestützte Prozesse für optische Hochleistungsschichten
Hochschulschrift Hannover, Univ., Diss., 2008
Persistent Identifier URN: urn:nbn:de:gbv:089-5880037350
URL http://edok01.tib.uni-hannover.de/edoks/e01dh08/588003735.pdf (Verlag) (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n) Deutsch (ger)
Schlagwörter Optische Schicht ; Ionenstrahlbeschichten ; Prozessentwicklung <Technik>
DDC-Notation 621.3694028 [DDC22ger]
Sachgruppe(n) 620 Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau

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