Katalog der Deutschen Nationalbibliothek

Neuigkeiten Servicezeiten in Frankfurt am Main ab 1. Dezember 2025: Montag bis Freitag 9–18 Uhr und Samstag 10–16 Uhr
Service hours in Frankfurt am Main from 1 December 2025: Monday to Friday 9:00-18:00 and Saturday 10:00-16:00
 
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Neuigkeiten Die Lesesäle für Geisteswissenschaften, Naturwissenschaften, der Alte Lesesaal Technik und der Anne-Frank-Shoah-Lesesaal in Leipzig schließen am 04.02.2026 wegen einer Veranstaltung bereits um 15 Uhr. Die weiteren Lesesäle sowie die Servicetheke sind zu den regulären Zeiten geöffnet. //
The humanities reading room, the natural science reading room, the old technology reading room and the reading room of the Anne-Frank-Shoah-Library will close at 15:00 on 4 February 2026 due to an event. The other reading rooms and the service desk will be open during regular hours.
 
 

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Sachbegriffe
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Sachbegriff Sputtern
Quelle - Kompakt B, Nachtrag,B 1986 als Kathodenzerstäubung
Erläuterungen Verwendungshinweis: Verknüpfe mit Anwendungsgebiet, z.B. Trockenätzen oder PVD-Verfahren
Synonyme Festkörperzerstäubung
Ionenzerstäubung
Ionstrahlsputtern
Kathodenzerstäubung
Sputtering
Ionenstrahlsputtern
Sputterdeposition
Sputterverfahren
Oberbegriffe Zerstäubung
PVD-Verfahren
DDC-Notation 530.416
667.9
Systematik 31.8a Fertigungstechnik ; 31.9b Elektronik, Nachrichtentechnik
Typ Allgemeinbegriff (saz)
Andere Normdaten LCSH: Sputtering (Physics)
RAMEAU: Pulvérisation cathodique
Untergeordnet 5 Datensätze
  1. DC-Sputtern
    Sputtern
  2. Gasflusssputtern
    Sputtern
  3. ...
Thema in 185 Publikationen
  1. Spektral selektive photonische Strukturen für die farbige Gestaltung von integrierten Photovoltaiksystemen
    Wessels, Andreas. - Stuttgart : Fraunhofer Verlag, [2025]
  2. Einfluss des Beschichtungswinkels auf die Phasenbildung beim reaktiven Sputtern
    Haus, Lea. - Freiberg : Technische Universität Bergakademie Freiberg, [2024], 1. Auflage
  3. ...
Maschinell verknüpft mit 42 Publikationen
  1. Reactive DC Magnetron Sputtering for the Deposition of Semiconductor Thin Films and their Use in Photoelectrochemical and Photocatalytic Applications
    Kim, Hyesung. - Erlangen : Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU), 2026
  2. A study on the microstructure formation mechanisms and functional properties of new β-FeSi₂-based polycrystalline thin films for photovoltaic applications using correlative electron microscopy
    AbuMuhfouz, Maram Aref. - Aachen : Universitätsbibliothek der RWTH Aachen, 2025
  3. ...





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