A novel approach to construct self-assembled 3D MEMS arrays

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Link zu diesem Datensatz	https://d-nb.info/1278244727
Titel	A novel approach to construct self-assembled 3D MEMS arrays
Person(en)	Akhundzada, Sapida (Verfasser) Yang, Xiaohui (Verfasser) Fiedler, Johannes (Verfasser) Käkel, Eireen (Verfasser) Al-Qargholi, Basim (Verfasser) Buhmann, Stefan Yoshi (Verfasser) Ehresmann, Arno (Verfasser) Hillmer, Hartmut (Verfasser)
Organisation(en)	Quantum Optics and Statistics (Mitwirkender)
Verlag	Freiburg : Universität
Zeitliche Einordnung	Erscheinungsdatum: 2023
Umfang/Format	Online-Ressource (zip)
Persistent Identifier	URN: urn:nbn:de:bsz:25-freidok-2326948 DOI: 10.1007/s00542-022-05361-1
URL	https://freidok.uni-freiburg.de/data/232694 (kostenfrei zugänglich)
Sprache(n)	Englisch (eng)
Anmerkungen	Microsystem technologies. - 28, 9 (2022) , 2139-2148, ISSN: 1432-1858
DDC-Notation	530.411 (maschinell ermittelte DDC-Kurznotation)
Sachgruppe(n)	530 Physik

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