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Bücher
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Art des Inhalts Hochschulschrift
Titel Untersuchung der elektronenoptischen Eigenschaften von Ablenksystemen für die Anwendung elektronenlithographischer Bildaufzeichnung
Person(en) Kilger, Gerhard (Verfasser)
Zeitliche Einordnung Erscheinungsdatum: 1980
Umfang/Format 87 S. : Ill., graph. Darst. ; 21 cm
Hochschulschrift Tübingen, Univ., Fak. für Physik, Diss., 1980.
Sachgruppe(n) 18a Naturwissenschaften
Weiterführende Informationen Inhaltsverzeichnis

Frankfurt Signatur: H 80/5244
Bereitstellung in Frankfurt




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